Etch 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다.
2017.09.09 21:02
안녕하세요~ ETCH ENG'r 입니다.
몇가지 질문 드리려 가입했습니다.
1. W ETCH 시에 SF6 GAS를 이용하게 되는데 이 경우 WFx의 Radical이 발생하게 됩니다. 이 Radical이 특히 Chamber내에 Polymer를 많이 발생시키는 건지 궁금합니다. (옛날 논문을 참고해보면 이 공정 자체가 더러운 공정이라는 말이 있어서요..)
2. W ETCH 후 ISD 진행시에 NF3 Gas를 사용하는데 이게 어떤 반응식을 통해 Paticle 제거 효과를 보는건지 궁금합니다.
답변 달아주시면 감사하겠습니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [271] | 76775 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20224 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57178 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68721 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92388 |
611 | PDP 에 대해서.. | 18306 |
610 | sputtering | 18294 |
609 | 플라즈마와 사용되는 기체선택 | 18242 |
608 | 마그네트론관 또는 그외반도체소자로 물을 고열증발가능? | 18216 |
607 | ICP에 대하여 | 18196 |
606 | 저온 플라즈마에 관한 질문 | 18194 |
605 | rotational vibration excitation | 18185 |
604 | 진로상담 | 18146 |
603 | 증착에 대하여... | 18102 |
602 | DBD plasma | 18088 |
601 | 플라즈마의 정의 | 18042 |
600 | Splash 발생 및 감소 방안은 없는지요? | 18038 |
599 | 플라즈마를 알기위해서는 어떤것을 알아두는 것이 좋.. | 18021 |
598 | Plasma of Bio-Medical Application | 18007 |
597 | TMP에 대해 다시 질문 드립니다. | 18005 |
596 | Plasma Gas의 차이점 [1] | 17978 |
595 | electrode gap | 17951 |
594 | 플라즈마 응용분야 | 17861 |
593 | QMA에서 electron beam의 generation 과정 [1] | 17848 |
592 | capacitively/inductively coupled plasma | 17809 |