ATM Plasma DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다.

2017.09.20 20:24

Seoki 조회 수:801

 안녕하십니까 얼마전부터 DBD Plasma Actuator에 대해서 대해 공부하고 있는 정원석이라고 합니다. 다름이 아니라 저에게 DBD Plasma Actuator의 원리에 대한 여러 이론들을 조사해오라고 교수님께서 시키셨는데요, 아무리 논문을 공부해봐도 발생원리가 여러가지일 것이라는 생각이 들지 않습니다. 대부분 발생원리에 대해서 적어 놓은 내용은 제가 보기에 다르다기 보다는 같다고 밖에 느껴지질 않네요. 거의 대부분의 논문에서 원리에 대해서는 그저 몇 줄정도만 적어두었기에 자료도 부족한 상황입니다. 현재까지 그 원리에 대해서는 확실하게 밝혀지지 않았다고 하는데 과연 그 가설들이 어떻게 되는지 몇 가지정도 알고 싶습니다.    

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] 76855
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20262
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57193
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68747
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92610
617 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 815
616 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 817
615 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 823
614 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 826
613 RF 파워서플라이 매칭 문제 826
612 Self bias 내용 질문입니다. [1] 837
611 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 841
610 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 845
609 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 846
608 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 848
607 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 850
606 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 855
605 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 863
604 문의 드립니다. [1] 869
603 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 870
602 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 872
601 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 887
600 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 889
599 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 890
598 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 896
쓰기
태그

Boards

XE Login