Etch Plasma 식각 test 관련 문의 [플라즈마 데이터 처리]

2021.12.13 16:57

벅바 조회 수:4390

안녕하세요.

 

플라즈마 식각 중량변화 테스트를 O2가스와 NF3,AR(3:1) 비중으로 60분동안 200W전력 조건으로 

 

제품은 불소고무 O-RING 입니다.

 

할 수 있는곳이 있을까요?? 

 

도움 부탁드리겠습니다..

 

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