Others O2 Plasma 에칭 실험이요

2019.01.30 14:20

Elin0503 조회 수:967

안녕하세요. 회사에 다니고 있는 직장인입니다.


이번에 저희 회사 연구실에서 O2 Plasma를 이용하여 Carbon Film을 날리는 실험을 계획중에 있습니다.


그런데 Carbon Film이 Depo된 Wafer를 구하기가 쉽지가 않습니다..


혹시 Carbon 시편을 구할 수 있는 곳이라던가 연락처아시면 


공유가 가능할까 싶어 너무나 간절한 마음에 여기에 이렇게 질문글을 작성합니다..


도움 부탁드리겠습니다..

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] 76882
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20277
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57199
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68754
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92707
618 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 814
617 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 818
616 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 827
615 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 830
614 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 832
613 RF 파워서플라이 매칭 문제 832
612 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 843
611 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 846
610 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 848
609 Self bias 내용 질문입니다. [1] 848
608 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 852
607 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 854
606 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 856
605 문의 드립니다. [1] 871
604 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 874
603 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 877
602 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 894
601 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 896
600 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 896
599 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 897

Boards


XE Login