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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [Standing wave effect]
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IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [접촉 저항]
[2] | 1881 |
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안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [상압 플라즈마 임피던스, matching]
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텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [표면 화학 반응]
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ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [ESC 영역 온도 조절]
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ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [플라즈마 생성 기전, RIE 모드]
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CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [Breakdown 전기장, 아크 방전]
[3] | 4110 |
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ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다.
[1] | 15620 |
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CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [챔버 벽면 성질 및 가스 손실]
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전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [Light flower bulb]
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RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [TC gauge 동작 원리]
[1] | 1135 |
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CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [Paschen's Law, P-d 방전 곡선]
[1] | 2721 |
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데포 중 RF VDC DROP 현상 [부유 전극의 self bias 형성]
[1] | 1783 |
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OES 분석 관련해서 질문드립니다. [Intensity 넓이 계산]
[1] | 1946 |
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618 |
CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [핵융합 연구소 자료]
[1] | 941 |
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anode sheath 질문드립니다. [Sheath 형성 메커니즘]
[1] | 1383 |
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안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [단위 Chamber의 PM 이력]
[1] | 970 |
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615 |
플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [플라즈마 표면 반응]
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614 |
RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다.
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CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [Plasma information variable model]
[1] | 2505 |
