번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [110] 4864
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16204
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51246
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63740
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83493
476 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 814
475 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 1215
474 PEALD관련 질문 [1] 19660
473 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] 1148
472 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 2010
471 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] 829
470 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 482
469 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] 2733
468 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 306
467 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 1437
466 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] 960
465 Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] 921
464 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 736
463 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [1] 1398
462 plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] 1803
461 Wafer particle 성분 분석 [1] 1926
460 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] 1186
459 charge effect에 대해 [2] 1152
458 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 954
457 터보펌프 에러관련 [1] 1467

Boards


XE Login