번호 제목 조회 수
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 48709
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 50779
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 57199
370 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] new 1803
369 활성이온 측정 방법 [1] new 299
368 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] new 679
367 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] new 1042
366 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] new 997
365 sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [1] new 1669
364 Remote Plasma 가 가능한 이온 [1] new 887
363 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] new 1238
362 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] new 432
361 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. new 550
360 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] new 618
359 DC bias (Self bias) [3] new 5651
358 ICP와 CCP의 차이 [3] new 8072
357 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] new 530
356 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] new 914
355 Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] new 4391
354 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] new 1229
353 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] new 908
352 Impedence 위상관련 문의.. [1] new 790
351 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] new 355

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