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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64541
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498 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 435
497 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1262
496 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1000
495 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 2314
494 대학원 진학 질문 있습니다. [2] 881
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491 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 1973
490 플라즈마 관련 기초지식 [1] 1577
489 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 4547
488 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] 929
487 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 528
486 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 5768
485 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] 1092
484 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 914
483 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 2134
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