안녕하세요, 

현재 스퍼터 장비를 사용하기에 앞서 플라즈마에 대해 공부하고 있는 서울대학교 대학원생입니다. 

스퍼터 장비에서 사용되는 DC,RF파워간의 차이, reative, magnetron을 사용하는 이유와 과정에 대해 전반적으로 공부하고 이해하는 과정에서 

가장 원초적인 궁금증이 생겼고, 이에 대한 명쾌한 답을 찾을 수 없어서 질문드립니다. 

 

Q1) 챔버내에서 타겟,기판,고온 조건이 없더라도 방전기체를 넣어주고 파센의법칙에 의해 계산된 전기장을 가해주면 플라즈마를 발생시킬 수 있다고 알고 있고, 실제로 발생하는 것을 확인하였습니다. 그렇다면 폐쇄된 강의실에 매우 강한 전기장을 가해준다면 실제로 강의실에 플라즈마가 생기는 것을 확인 할 수 있나요? 없다면 왜 그런지 알고 싶습니다. (폐쇄되었다는 조건외에는 별다른 조건이 없습니다)

 

Q2) 플라즈마 발생 과정에서 source가 되는 seed electron은 진공상태여도 챔배내에 존재하게 되는데 도데체 이 seed electron은 정확히 어디서, 어떻게 생겨났으며, 챔버내에서 어떤식으로 존재하게 되는건가요? 

 (저는 그저 cosmic rays에 의해 생겨난 전자가 자연상태를 돌아다니까 챔버내에서도 당연하게 존재한다고만 알고 있습니다.)

 

 

짧지 않는 글 읽어주셔서 감사합니다. 또한 답변주시면 감사하겠습니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [110] 4873
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16212
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51247
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63741
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83500
41 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 538
» 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 538
39 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 521
38 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 507
37 Plasma Cleaning 관련 문의 [1] 502
36 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [1] 489
35 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 483
34 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 479
33 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 455
32 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 454
31 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 449
30 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 447
29 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 446
28 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 439
27 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 427
26 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 405
25 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 399
24 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 384
23 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 381
22 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] 378

Boards


XE Login