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공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 55521
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65737
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 86107
507 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 932
506 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 2157
505 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 450
504 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1248
503 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 1323
502 Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] 7890
501 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 1509
500 공정플라즈마 [1] 895
499 임피던스 매칭회로 [1] file 2328
498 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 454
497 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1321
496 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1061
495 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 2483
494 대학원 진학 질문 있습니다. [2] 900
493 질문있습니다. [1] 2048
492 chamber impedance [1] 1798
491 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 2108
490 플라즈마 관련 기초지식 [1] 1667
489 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 4625
488 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] 1184
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