안녕하세요. (코로나 방전을 이용한) 전기집진을 공부하고있는 학생입니다.

최근 실험 중, 코로나 전류가 -10uA에서 시간이 지날수록 하락하는 현상이 나타났습니다.

충분히 시간이 경과하니 -0.2uA 수준까지 하락을 하였습니다.

수초 간 전원을 OFF 후 ON 시키면 1/3수준까지는 회복이 됩니다

또는 전원을 OFF 후 방전이 일어나는 브러쉬 부분을 건드려준 후, 다시 ON을 시키면 원래 값까지 회복이됩니다.

위 현상이 나타나는 이유 또는 참고할만한 내용이 있으면 부탁드려도 될까요??

홈페이지 통하여 플라즈마 관련 많이 배우고 있습니다.

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [335] 103782
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24751
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61624
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73574
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 106076
635 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [베르누이 정리] [1] 1558
634 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [Standing wave 운전 조건, 안테나 설계] [1] 2402
633 ICP 대기압 플라즈마 분석 [Collisional plasma, LTE 모델] [1] 974
632 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [Standing wave effect] [1] 2953
631 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [접촉 저항] [2] 1969
630 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [상압 플라즈마 임피던스, matching] [1] 612
629 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [표면 화학 반응] [1] 2055
628 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [ESC 영역 온도 조절] [1] 3004
627 ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [플라즈마 생성 기전, RIE 모드] [1] 9455
626 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [Breakdown 전기장, 아크 방전] [3] 4248
625 ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] 15829
624 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [챔버 벽면 성질 및 가스 손실] [1] 1774
623 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [Light flower bulb] [1] 1294
622 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [TC gauge 동작 원리] [1] 1177
621 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [Paschen's Law, P-d 방전 곡선] [1] 2808
620 데포 중 RF VDC DROP 현상 [부유 전극의 self bias 형성] [1] 1853
619 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [Intensity 넓이 계산] [1] 2092
618 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [핵융합 연구소 자료] [1] 982
617 anode sheath 질문드립니다. [Sheath 형성 메커니즘] [1] 1473
616 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [단위 Chamber의 PM 이력] [1] 1032

Boards


XE Login