안녕하세요

혼자 해결하려고 몇달을 고민하고 도전하다가, 비전공자의 한계를 극복하지 못하고 글 남깁니다..


고전압 진공관 관련해서 실험을 하고 있는 직장인입니다.


고전압 진공관을 작동할 때에, 진공관은 대기중(질소로 퍼징하지 않고)에서 펌프로 대략 10e-5 이상으로 진공을 유지하고 있습니다.

제가 알고 있는 지식선에서는 진공관에서 고전압을 인가 할 경우에는 어떠한 현상도 발생하지 않아야 합니다.


그런데, 고전압을 인가해주면 글로우 방전과 비슷하게 보라색과 분홍색이 섞인듯한 빛을 띄는 에너지 파?(글로 방전 예상)가 이동하는 것을 확인하였습니다. 그 이후 조금 더 높은 전압을 인가했을 때에는 에너지 파?가 아닌 단순히 형광등 처럼 빛(플라즈마 예상)이 나기만 했습니다.

이럴 경우에 진공이 안좋아서 전리 여기현상으로 글로방전 또는 플라즈마가 발생하는 것으로 예상됩니다.


하지만, 진공의 문제가 아니라 다른 문제가 있다고 판단하여 좀더 높은 전압을 인가하였을 때, 아크가 발생하면 빛이 사라지는 경우를 확인했습니다. 

이런 경우가 될 경우에는 빛이 발생하는 현상은 진공과 관계가 없다고 판단되고, 진공관 내 어떠한 표면이 불안정하여 플라즈마 현상의 원인이 되는 것으로 판단됩니다.. 


그러나, 그 진공관에서 전극 사이에 가장 가까운 거리를 가지는 것은 절연체 밖에 없습니다..

 

여기서 질문을 드리고자 하는 것은 아래와 같습니다.


1. 진공관에서 글로방전 또는 플라즈마가 발생하는 것을 진공만의 문제일 수 있을까요?

2. 진공관의 절연부분이 글로방전 또는 플라즈마 발생의 원인이 될 수 있을까요?

3. 진공관 내 이물질 흡착으로 인하여 고전압 인가 시에 글로방전 또는 플라즈마 발생하는 것의 원인이 될 수 있을까요?

4. 진공관 내 절연거리가 부족하여 글로방전 또는 플라즈마 발생의 원인이 될 수 있을까요?


제가 더 필요하게 알아봐야 할 부분이 있는 것으로 보이시면 논문이나 서적 추천 부탁드립니다..


글 읽어주셔서 감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] 76736
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20206
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57168
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68702
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92280
588 플라즈마 에칭 과 표면처리 의 차이점 질문드립니다. [1] 1984
587 RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [4] 3774
586 플라즈마 챔버 [2] 1243
585 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 1050
584 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 3618
583 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 780
582 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1670
581 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 1323
580 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 868
579 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 1113
578 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 403
577 압력과 플라즈마 크기의 관계가 궁금합니다. [1] 28521
576 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 1355
575 Load position 관련 질문 드립니다. [1] 2438
574 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 455
573 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 1104
572 플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [1] 6418
571 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 806
570 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 585

Boards


XE Login