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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65716
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507 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1045
506 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 1046
505 자기 거울에 관하여 1050
504 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1058
503 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 1064
502 I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [1] 1071
501 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 1073
500 RF 전압과 압력의 영향? [1] 1074
499 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 1075
498 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] 1084
497 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] 1087
496 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 1098
495 Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] 1104
494 LF Power에의한 Ion Bombardment [2] 1104
493 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1115
492 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 1124
491 플라즈마 기초입니다 [1] 1148
490 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 1176
489 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] 1183
488 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] 1190
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