Others 플라즈마를 통한 정전기 제거관련.
2021.07.09 14:56
안녕하세요. 반도체 관련 엔지니어로 근무하고 있는 직장인입니다.
현재 공정이 완료된 텅스텐 재료에 대기압 플라즈마를 가하여 정전기 제거를 하고있습니다.
Ar gas를 이용하였으며 정전기 측정장비로 제거 되는 것 까지는 확인 되었습니다.
추가로 여쭤보고 싶은 부분이 정전기 제거 후에도 반영구적으로 정전기가 발생하지 않는 것도 확인이 되는데요.
이 부분에 대해서는 관련 자료를 찾아보아도 나오는 부분이 거의 없어서요.
O, N 라디칼들이 계면에서 어떠한 에너지 반응을 일으키는 건지. 텅스텐 표면에 어떤 결합에너지에 영향을 주는 것인지 궁금하네요.
플라즈마를 통하여 정전기 방지가 유지되는 것이 어떠한 Process로 진행될 수 있는지 궁금합니다.
고견 여쭙겠습니다. 감사합니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76738 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20206 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68702 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92286 |
73 | 플라즈마 온도중 Tr의 의미 | 17802 |
72 | QMA에서 electron beam의 generation 과정 [1] | 17848 |
71 | Plasma Gas의 차이점 [1] | 17973 |
70 | TMP에 대해 다시 질문 드립니다. | 18005 |
69 | 플라즈마를 알기위해서는 어떤것을 알아두는 것이 좋.. | 18021 |
68 | 플라즈마의 정의 | 18042 |
67 | 진로상담 | 18146 |
66 | rotational vibration excitation | 18185 |
65 | 저온 플라즈마에 관한 질문 | 18193 |
64 | ICP에 대하여 | 18196 |
63 | 마그네트론관 또는 그외반도체소자로 물을 고열증발가능? | 18215 |
62 | 플라즈마와 사용되는 기체선택 | 18240 |
61 | PDP 에 대해서.. | 18306 |
60 | 실생활에서 사용되는 플라즈마 | 18316 |
59 | 질문 있습니다. [1] | 18368 |
58 | 형광등에서 일어나는 물리적인 현상 | 18527 |
57 | 플라즈마을 막는 옷의 소재는? | 18552 |
56 | 핵융합 발전에서는 폐기물이 않나오는 .... | 18565 |
55 | 주변의 플라즈마에 대하여 | 18654 |
54 | 전자온도에 대하여 궁금한 사항이 있습니다. [1] | 18740 |
플라즈마에서 가속 이온이 제공되고, 이로 인해 dangling bond 들이 많아지는 것을 가정해 볼 수 있겠습니다. 동시에 전자들도 입사되므로, 각 bond에 전하가 붙게 되고, 또한 radical 들도 결합이 되게 될 것입니다. 주로 산소와 질소 라디컬들이 잘 결합하겠습니다. 하지만
각 반응의 상수와 결합 과정 및 그 결합이 얼마나 강력한가, 즉 후속 반응이 존재하는 경우 잘 견딜 것인가에 대해서는 잘 이해하지 못합니다. 표면 과학을 전공하시는 분이 답을 주실 수 있을 것 같습니다. 다만, 플라즈마 분위기에서 표면으로 전달되는 항목으로는
전자, 이온 (질량과 에너지), 화학 반응(라디컬) 과 UV가 동시에 제공됨을 참고하시고, 표면 반응 자료를 찾아 보시기를 추천합니다.