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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64531
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498 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 1013
497 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 1020
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494 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 1030
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492 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 1046
491 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] 1051
490 Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] 1064
489 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] 1067
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486 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1096
485 플라즈마 기초입니다 [1] 1127
484 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 1139
483 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] 1152
482 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 1156
481 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1178
480 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 1179
479 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1193
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