안녕하세요. 경희대학교에서 플라즈마에 대한 학부연구를 진행하고 있는 박준우라고 합니다.

플라즈마의 전자 온도에 대한 간단한 질문이 있어 QNA 드립니다.

 

플라즈마 내의 전자가 물질(substrate)과 충돌했을 때, 맞은 substrate의 전자도 온도가 올라가는 것으로 알고 있습니다.

이 때 일반적으로 진공에 떠돌아 다니는 전자의 온도와, substrate의 전자 온도의 정의를 똑같이 할 수가 없다고 하는데, 정확히 어떻게 정의가 달라지는지 궁금하여 질문 드립니다.

 

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] 76739
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20207
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57168
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68703
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92294
589 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 968
588 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 974
587 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 974
586 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 981
585 anode sheath 질문드립니다. [1] 984
584 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 998
583 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 1001
582 고진공 만드는방법. [1] 1008
581 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 1008
» 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 1011
579 Si 표면에 Ar Plasma Etching하면 안되는 이유 [1] 1013
578 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 1016
577 DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] 1022
576 Plasma 에서 Coupled (결합) 의 의미 [1] 1029
575 진학으로 고민이 있습니다. [2] 1030
574 플라즈마 코팅 [1] 1036
573 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 1038
572 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 1045
571 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 1050
570 Plasma Arching [1] 1051

Boards


XE Login