안녕하세요 저는 한양대 비선형광학 연구실에 석사과정중인 박진우 입니다.
 
 
 
현재 Hollow Cathode discharge를 이용한 D2 플라즈마를 뛰어서 분광학에 사용하는 연구를 진행중인데요, 
 
 
 
플라즈마를 띄우는 과정에서 이상 현상들이 일어나 이에 대해 고민하던중 혼자힘으론 해결이 어려워 이렇게 글을 남김니다.
 
 
 
현재 이상현상은 두가지인데요.
 
 
 
첫째는 플라즈마가 안정화가 안되고, 계속 전극위에 이물질이 타듯이 스파크가 튀는것입니다. 이 현상이 랜덤하게 일어나서, 전극 교체마다 어느때는 괜찮고 어느때는 일어나는 랜덤한 현상인데, 이것의 원인을 모르겠구요... 평소에는 전극 주변에 이물질이 타는거라고 알고는있는데 플라즈마가 안정화가 안되고 이 현상이 계속 유지가 되내요.
 
 
 
두번째는 플라즈마에서 발광 빛의 변형이 일어나는 것인데요,원래 중수소 플라즈마의 발광빛이 656nm 쯤이라 붉은 핑크빛이 나오는데요, 플라즈마를 키고 10분~15분 지나면 갑자기 초록색 비슷한 발광빛이 일시적으로 관측 됩니다.이때 인가전류도 감소하고 , 챔버 내 온도도 ㄱ 감소하더라고요. 챔버 내벽에서 나오는 파티클이 나오는거같아 세척도하고, 전극 표면도 초음파세척을 해주었지만 개선이 안되고있고요.
 
 
 
두번째 이상현상이 일어난후 챔버를 열어보면 ppt의 그림과같이 오염된 자국들이 선명하게 남게됩니다. 평소 세척은 공업용 수세미로 세척을 했었는데, 챔버 벽면에 스크레치가 생길수 있어서 최근에 업체에 맡겨서 내벽 세척을 다 끝내고 실험을 다시 진행했는데요.
 
 
 
5번 슬라이드처럼 다시 전극이 변형된거를 관측했습니다. 이때는 초록빛은 관측되지않고, 단순히 인가전류만 감소하고 결국은 꺼졌습니다.
 
 
 
현재 anode가 cu고 cathode 가 Al인데 개인적인 생각으론 전극으로서 금속선택이 잘못된거 같다고는 생각이 드는데 정확한 원인으로서 증명하기가 힘드네요.
 
구체적인 현상들은 사진으로 ppt에 첨부했습니다.
 
이러한 현상에대해 혹시 아신다면 ,알려주시면 정말 감사하겠습니다.
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [330] 101823
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24443
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61091
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73132
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105284
81 자기 거울에 관하여 1234
80 Self bias 내용 질문입니다. [쉬스와 표면 전위] [1] 1233
79 플라즈마 코팅 [The Materials Science of Thin Films] [1] 1224
78 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [I-V characteristic 방전 커브] [2] 1217
77 RF tune position과 Vms의 관계가 궁금합니다. [Chamber component, Matcher] [1] 1204
76 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 1204
75 RF MATCHING관련 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 Impedance와 matching 설계] [1] 1191
74 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 1179
73 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [광운대 플라즈마 바이오 연구소] [1] 1173
72 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [임피던스 매칭] [1] 1169
71 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [DC glow discharge] [1] 1162
70 교수님 질문이 있습니다. [Child-Langmuir sheath] [1] 1147
69 Arcing과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [Self bias와 DC glow 방전] [1] 1143
68 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [용사 코팅] [1] 1133
67 문의 드립니다. [방전 개시 조건 및 Bohm current density] [1] 1123
66 플라즈마 용어 질문드립니다. [Self bias] [1] 1066
65 플라즈마 충격파 질문 [플라즈마 생성에 의한 충격파 현상] [1] 1053
64 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [Breakdown 이해] [1] 1052
63 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [플라즈마 표면 반응] [1] 1042
» Hollow Cahthode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [장치 setting과 전극재료] [1] file 1039

Boards


XE Login