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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68529
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91230
553 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1423
552 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2412
551 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 659
550 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1558
549 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [2] 4254
548 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 1080
547 플라즈마 PIC 질문드립니다. [1] 10356
546 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 2326
545 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 857
544 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 3576
543 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 459
542 Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate [1] 2185
541 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1638
540 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 3522
539 플라즈마 살균 방식 [2] 11388
538 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 1319
537 RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] 2262
536 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 418
535 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 1047
534 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 3004

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