번호 제목 조회 수
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 48553
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 49550
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 54960
323 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 1533
322 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 768
321 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 958
320 SiO2 식각 위한 Remote Plasma Source관련 질문 드립니다. [1] 2574
319 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [1] file 3190
318 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 2355
317 모노실란(SiH4) 분해 메카니즘 문의 2332
316 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 1354
315 HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다. [1] 1612
314 Ar plasma power/time [1] 906
313 RPSC 관련 질문입니다. [2] 1698
312 안녕하세요 반도체 공정 중 용어의 개념이 헷갈립니다. [1] 4443
311 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1055
310 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 4178
309 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1238
308 N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [1] 7065
307 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 1850
306 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 562
305 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1208
304 Plasma 에칭 후 정전기 처리 [3] 2007

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