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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출)
[1] | 2559 |
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Bais 인가 Cable 위치 관련 문의
[1] | 539 |
560 |
Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다.
[2] | 3300 |
559 |
좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다.
[2] | 16638 |
558 |
알고싶습니다
[1] | 1424 |
557 |
교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다.
[2] | 2277 |
556 |
Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요
[2] | 917 |
555 |
안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다
[2] | 738 |
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Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다.
[2] | 2792 |
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PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다.
[1] | 1434 |
552 |
안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다.
[2] | 2443 |
551 |
접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다
[1] | 665 |
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전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다.
[1] | 1577 |
549 |
챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다.
[2] | 4340 |
548 |
Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계.
[2] | 1102 |
547 |
플라즈마 PIC 질문드립니다.
[1] | 10363 |
546 |
[RIE] reactive, non-reactive ion의 역할
[1] | 2365 |
545 |
O2 Asher o-ring 문의드립니다.
[1] | 873 |
544 |
진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해
[1] | 3639 |
543 |
자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다.
[1] | 464 |