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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68777
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92759
579 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 1131
578 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 405
577 압력과 플라즈마 크기의 관계가 궁금합니다. [1] 28567
576 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 1384
575 Load position 관련 질문 드립니다. [1] 2459
574 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 464
573 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 1123
572 플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [1] 6419
571 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 819
570 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 589
569 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 969
568 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 1515
567 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 1176
566 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] 5586
565 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 856
564 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1710
563 플라즈마볼 제작시 [1] file 2254
562 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2593
561 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 552

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