Process 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다

2020.08.20 13:11

이재혁 조회 수:703

안녕하세요

접착력 증가를 위한 플라즈마 처리를 하고 있습니다.

문제는 불소계필러가 들어간 이미드 필름을 에폭시에 붙이려하는데 잘되지 않아서 

표면처리 후 접착력을 증가시켜 보려고합니다.

현재 Ar+H2 로 하고있고 접착력이 증가하긴 하지만 탁월한효과는 못보고있습니다.

혼합가스를 바꾸어보라는 말도있고 소스를 바꿔보라는 말도있던데 

혼합가스 종류나 다른 방법이있을까요 ? 


궁금합니다.


이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [275] 76841
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20252
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57192
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68744
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92591
575 Load position 관련 질문 드립니다. [1] 2448
574 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 456
573 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 1115
572 플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [1] 6419
571 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 814
570 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 585
569 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 963
568 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 1502
567 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 1168
566 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] 5564
565 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 848
564 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1706
563 플라즈마볼 제작시 [1] file 2246
562 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2585
561 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 548
560 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 3329
559 좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다. [2] 16665
558 알고싶습니다 [1] 1463
557 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 2331
쓰기
태그

Boards

XE Login