Plasma Source Plasma Generator 관련해서요.

2018.10.24 11:25

Elin0503 조회 수:908

안녕하세요.  

플라즈마 관련 직종에서 근무하고 있는 초보 직장인입니다.


한가지 질문 드릴게 있어서요,

Generator 하나를 사용하는데 Cable을 분기 시켜서

두개의 matching box로 가게 가능 할까요?


즉 Generator 하나를 사용하여 각각 다른 위치에 존재하는 Part를 클리닝 하고 싶어서요.

이게 실제 이론적으로 회로상으로 Relay를 줘서 분기 시켜서 

어쩔때는 Mater1으로 가고, 어쩔때는 Matcher2로 가는게 가능할까요?


관련 내용을 찾다가 갑자기 궁금해서 질문 드립니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [267] 76710
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20162
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57162
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68684
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92246
568 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 1481
567 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 1153
566 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] 5518
565 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 843
564 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1703
563 플라즈마볼 제작시 [1] file 2233
562 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2579
561 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 546
560 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 3321
559 좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다. [2] 16651
558 알고싶습니다 [1] 1453
557 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 2310
556 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 946
555 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 753
554 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2815
553 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1441
552 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2470
551 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 695
550 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1597
549 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [3] 4481
쓰기
태그

Boards

XE Login