Plasma Source Plasma Generator 관련해서요.

2018.10.24 11:25

Elin0503 조회 수:700

안녕하세요.  

플라즈마 관련 직종에서 근무하고 있는 초보 직장인입니다.


한가지 질문 드릴게 있어서요,

Generator 하나를 사용하는데 Cable을 분기 시켜서

두개의 matching box로 가게 가능 할까요?


즉 Generator 하나를 사용하여 각각 다른 위치에 존재하는 Part를 클리닝 하고 싶어서요.

이게 실제 이론적으로 회로상으로 Relay를 줘서 분기 시켜서 

어쩔때는 Mater1으로 가고, 어쩔때는 Matcher2로 가는게 가능할까요?


관련 내용을 찾다가 갑자기 궁금해서 질문 드립니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [88] 2566
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 13691
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49691
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61641
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 80272
440 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 301
439 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2053
438 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 939
437 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 887
436 DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다. [1] 1239
435 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 2166
434 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 401
433 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 740
432 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 1653
431 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 321
430 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 424
429 자기 거울에 관하여 963
428 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 654
427 Descum 관련 문의 사항. [1] 2295
426 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 390
» Plasma Generator 관련해서요. [1] 700
424 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1167
423 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] 330
422 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [1] 5540
421 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 881

Boards


XE Login