Process Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다..

2019.05.26 15:39

금자 조회 수:879

안녕하세요 저는 현재 플라즈마 에쳐장비 쪽에서 근무중인 사람입니다.

하지만, 대학과정동안 화학에 대해선 공부해 본적이 없는지라 가스에 대한 지식이 거의 전무하다고 봐도 되는 상태입니다..

그래서 특정 식각물질에 대해 어떠한 가스가 어떤 역할을 하는지,

그에 대한 화학반응식이 무엇인지  공부 하고 싶은데

혹시 관련 교재를 추천해주실 수 있으신가요.. 부탁드립니다.


만약 적당한 교재가 없다면, 어떤 방법으로 공부하면 좋을지 조언 좀 부탁드립니다. 감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] 5818
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17286
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53122
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64498
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85112
478 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 387
477 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] 1434
476 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 897
475 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 1374
474 PEALD관련 질문 [1] 21293
473 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] 1372
472 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 2417
» Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] 879
470 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 526
469 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] 3043
468 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 329
467 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 1703
466 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] 1002
465 Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] 1064
464 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 798
463 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [1] 1502
462 plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] 1847
461 Wafer particle 성분 분석 [1] 2021
460 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] 1482
459 charge effect에 대해 [2] 1222
쓰기
태그

Boards

XE Login