이제 막 플라즈마에 대해 공부하고 있는 학생입니다.

산소와 아르곤 플라즈마를 이용해 물질을 처리하려고 하는데요

실험전에 아르곤플라즈마와 산소플라즈마를 조금씩 섞어줄 떄 온도 변화를 먼저 측정해 봤었는데요

산소를 섞어줄수록 중심으로부터 안테나부근의 온도들은 아르곤만 있었을 때보다 떨어졌으나

거의 챔버의 끝에서는 오히려 산소플라즈마를 섞은 것이 온도가 더 높게 측정되었습니다..

이유가 무엇일까요..?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [182] 75018
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 18859
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56340
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 66840
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 88302
31 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 486
30 Co-relation between RF Forward power and Vpp [2] 484
29 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 483
28 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 467
27 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 463
26 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 462
25 (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] 432
» 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 429
23 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] 419
22 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] 402
21 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 402
20 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 396
19 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 391
18 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 389
17 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 386
16 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 374
15 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 358
14 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 350
13 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 344
12 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 318

Boards


XE Login