안녕하세요. 감사하게도 플라즈마에 관한 수많은 질문과 답변들을 읽으며 많은 도움을 받고 있습니다.

 

저는 수도권 내 대학 기계공학과에 재학중인 학부연구생입니다.

 

다름이 아니라, 이번에 새로운 프로젝트를 기획하게 되었는데,

주제는 "DBD플라즈마를 활용한 마스크 소독기"가 되었습니다. 지름 150mm, 높이 200mm 수준의 실린더형 제품으로 구상중입니다.

 

드릴 질문은 다음과 같습니다.

1. DBD plasma generator 설계에 있어 플라즈마 리액턴트에 관한 조언

 

2. Parallel Plates 혹은 원통형의 DBD 플라즈마를 구성함에 있어 중요한 공정 변수들(rf generator, 전극과 유전체의 재료 properties, 전극과 유전체 사이 간격, 원통의 길이 등)

 

3. 소독이 진행 되어질 챔버(폴리머 or 메탈)에관한 전문가님들의 조언이 필요하게 되어 글을 작성하게 되었습니다.

 

바쁘신 와중에 읽어주셔서 감사합니다.

 

 

 

 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [333] 103673
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24744
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61600
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73547
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 106053
61 Hollow Cahthode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [장치 setting과 전극재료] [1] file 1057
60 플라즈마 밀도와 라디칼 [플라즈마 충돌 반응] [1] 1054
59 RF magentron sputtering시 플라즈마 off 현상 [Sputter 문제] [1] 1048
58 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [Glow discharge process 이해] [1] 1034
57 ICP/CCP 플라즈마 식각 공정 개발 [Plasma sheath 및 Plasma generation] [1] 1019
56 플라즈마 진단 공부중 질문 [Balance equation] [1] 1016
55 Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [Sheath impedance] [1] 973
54 standing wave effect, skin effect 원리 [Maxwell 방정식 이해] [1] 973
53 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [전극 설계 및 방전기 운전 모드 개발] [1] 970
52 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [Self bias] [1] 955
51 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [UV energy] [1] 890
50 Co-relation between RF Forward Power and Vpp [RF ground] [1] 886
49 프리쉬스에 관한 질문입니다. [Ambipolar diffusion 및 collisionless sheath] [1] 876
48 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [Druyvesteyn distribution 이해] [1] 873
47 전쉬스에 대한 간단한 질문 [Debye length 및 sheath 형성] [1] 860
46 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION 간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [플라즈마 충돌 반응] [1] 859
45 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [방전 기전] [1] 841
44 수중속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다. [방전 특성과 절연 파괴] [2] file 830
43 self bias [쉬스와 표면 전위] [1] 827
42 간단한 질문 몇개드립니다. [공정 drift와 database] [1] 814

Boards


XE Login