Others 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상

2019.01.24 13:33

짱아아빠 조회 수:2581

안녕하십니까.

산소양이온이 금속전극을 충돌하면, 산소양이온은 무엇으로 변하는지 궁금합니다.


1) 금속표면바로아래의 전자가 터널링에 의하여 나와서 산소양이온과 결합 하여 산소분자로 환원이 되는지?

  - 산소분자로 환원이 된다면, metastable 상태를 거쳐서 산소분자가 되는지..

2) 전자과 결합하는 과정에서 산소원자들이 생성이 되는지?


자료를 찾을 수가 없어서 문의드립니다.


오늘도 좋은 하루 되세요. 감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] 76734
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20206
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57168
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68701
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92280
569 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 960
568 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 1488
567 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 1157
566 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] 5533
565 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 844
564 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1703
563 플라즈마볼 제작시 [1] file 2236
562 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2580
561 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 546
560 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 3325
559 좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다. [2] 16654
558 알고싶습니다 [1] 1458
557 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 2315
556 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 950
555 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 755
554 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2820
553 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1442
552 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2478
551 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 696
550 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1599
쓰기
태그

Boards

XE Login