Matcher Plasma Arching
2022.09.13 19:17
안녕하십니까!
경기도 모 소재대학에 신소재공학과 재학중인 학생인데
신소재공학과는 전자기학을 배우지 않아서 어려움을 겪고있습니다.
1. 아킹 현상에 대해 공부중인데 임피던스 매칭? 이런 개념들이 너무 어렵고 플라즈마에 대해 이해도를 높이기 위해 전자기학 책 (원서도 좋습니다) 추천해주실만한 서적있으신가요?
답변주시면 감사하겠습니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] | 76858 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20263 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57197 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68749 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92626 |
| 577 | Plasma 에서 Coupled (결합) 의 의미 [1] | 1032 |
| 576 | 플라즈마 코팅 [1] | 1038 |
| 575 | 진학으로 고민이 있습니다. [2] | 1039 |
| 574 | DC Plasma 전자 방출 메커니즘 | 1046 |
| 573 | Si 표면에 Ar Plasma Etching하면 안되는 이유 [1] | 1048 |
| 572 | 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ | 1049 |
| 571 | Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] | 1058 |
| 570 | RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] | 1063 |
| » | Plasma Arching [1] | 1065 |
| 568 |
고전압 방전 전기장 내 측정
[1]  | 1069 |
| 567 | HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] | 1070 |
| 566 | Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] | 1078 |
| 565 | etch defect 관련 질문드립니다 [1] | 1091 |
| 564 | Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] | 1092 |
| 563 | 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] | 1092 |
| 562 | 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] | 1095 |
| 561 | 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] | 1117 |
| 560 | RF 반사파와 이물과의 관계 [1] | 1123 |
| 559 | Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] | 1126 |
| 558 | 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] | 1130 |
재료적 관점에서 플라즈마를 전기적 물성을 가진 재료로 생각해 보세요. 이 개념은 플라즈마의 dielectric property를 이해하는 것으로 시작하는데, 특히 lossy 한 재료가 가지는 RF 반응을 이해하면 좋습니다. 따라서 plasma dielectric property 에서 rf 주파수의 역할, plasma frequency, 및 기본적인 collision frequency 가 dielectric property를 어떻게 바꾸는가에 대해서 생각을 정리해 보세요. 이를 이해하기에 좋은 교재는 물리2 이고 Maxwell 방정식으로 부터 plasma dielectric frequency를 유도할 수 있으면, 플라즈마 공부하시는데 크게 지장은 없습니다. 참, 입자의 거동이니 하전입자의 운동 방정식과 연속 방정식은 늘 함께 다니는 식입니다. 이는 물리 1에서도 다루고 있습니다.
전자기학 책에 너무 연연하지 마시고 일반 물리에서 배운 지식을 잘 활용해 보시면 좀 더 수월하게 접근하실 수 있는 분야가 플라즈마 분야라 생각합니다.