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공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49615
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61097
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 79266
439 wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] 1130
438 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1137
437 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1153
436 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1159
435 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1166
434 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1182
433 DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다. [1] 1188
432 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1191
431 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 1217
430 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [2] 1219
429 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1232
428 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1237
427 플라즈마 관련 기초지식 [1] 1237
426 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1238
425 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 1241
424 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] 1248
423 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1258
422 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1261
421 etching에 관한 질문입니다. [1] 1262
420 Remote Plasma 가 가능한 이온 [1] 1288
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