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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64541
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477 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 1211
476 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1212
475 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1219
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468 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1245
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465 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1262
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463 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1269
462 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1273
461 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1274
460 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1279
459 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 1280
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