안녕하세요. 플라즈마를 이용한 연료 개질 관련 연구를 시작한 대학원생입니다.

플라즈마를 기반으로한 연구는 처음이라 교과서 위주로 공부를 하고 있습니다만, 실제 연구 과정에서 오는 어려움 때문에 질문드립니다.

(전기 신호와 관련한 공부를 한적이 없기 때문에 연구하는데 큰 어려움이 있는 것으로 판단하고 있습니다.)

 

먼저, 글라이딩 아크 방전 플라즈마 반응기를 사용하고 있으며, AC power supply로 반응기에 전력을 인가하고 있습니다. (20kHz, 수kV, 수mA 범위)

 

해당 파워 서플라이를 통해 인가하는 전력을 변화 시켰을 때, 개질되는 양을 측정하려고 합니다.

이에 대하여 전력의 크기가 변해도 아크 방전 플라즈마가 안정적으로 형성되는 것이 우선시 되어야 할텐데, 저전력(약 500~700W) 인가 시에는 플라즈마가 안정적으로 작동하지만 전력을 높이는 경우 (약 1kW) 플라즈마가 잘 형성되지 않습니다.

이는 파워 서플라이와 반응기(챔버+플라즈마) 사이의 임피던스가 맞지 않아 안정적으로 작동이 되지 않는 것으로 판단됩니다.

해당 게시판에 RF 파워 서플라이와 부하 사이의 임피던스 매칭에 대한 내용은 꽤 있는데, 다른 형태의 파워서플라이의 경우에는 임피던스 매칭을 어떻게 해야되는지 감이 전혀 안옵니다.

이러한 문제를 해결할 수 있는 방법이나, 도움되는 자료를 알려주시면 감사하겠습니다.

 

다음으로, 랭뮤어 프로브를 통해 플라즈마의 밀도 및 전자 온도 등을 측정할 수 있는 것으로 아는데 상용 프로브는 가격이 고가여서 구입에 어려움이 있습니다. PAL 에서는 랭뮤어 프로브를 자체 제작해서 사용하시는지 궁금하고, 자체 제작의 난이도가 궁금합니다.

 

전기 관련 지식이 너무 부족한 바 질문이 어리석어도 이해 부탁드립니다.

 

답변 기다리겠습니다.

 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [303] 78039
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20849
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57737
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69253
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93635
599 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 965
598 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 972
597 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 978
596 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 989
595 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 995
594 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 1004
593 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 1008
592 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 1016
591 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 1031
590 고진공 만드는방법. [1] 1033
589 Collisional mean free path 문의... [1] 1035
588 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 1045
587 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 1046
586 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 1048
585 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 1050
584 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 1052
583 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 1053
582 플라즈마 코팅 [1] 1059
581 Plasma 에서 Coupled (결합) 의 의미 [1] 1061
580 anode sheath 질문드립니다. [1] 1072

Boards


XE Login