Plasma in general Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요?
2023.06.23 11:23
안녕하세요 저는 현재 PECVD 장비를 사용하는 연구원입니다.
어플라이드社의 PRODUCER-S 설비로 ACL 공정을 Set-up하고 있습니다.
Unif를 잡기위해서 압려과 RF Power를 건드려 가며 조정 중에 있는데
RF Ref가 어떤 조건에서는 높게 뜨고 어떤 조건에서는 낮게 뜨는데 어떤 조건이 영향을 미칠까요?
알려주시면 감사하겠습니다.
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [275] | 76840 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20252 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57192 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68743 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92582 |
| 57 | RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] | 683 |
| 56 | 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] | 682 |
| 55 | 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] | 654 |
| 54 | plasma 공정 중 색변화 [1] | 620 |
| 53 | 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] | 597 |
| 52 | Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] | 595 |
| 51 |
수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다
[2]  | 593 |
| » | Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] | 591 |
| 49 | 간단한 질문 몇개드립니다. [1] | 589 |
| 48 | Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] | 578 |
| 47 | Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] | 561 |
| 46 | 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] | 553 |
| 45 | self bias [1] | 537 |
| 44 |
안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다.
[1] | 513 |
| 43 | 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... | 489 |
| 42 | 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] | 486 |
| 41 | (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] | 485 |
| 40 | 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] | 485 |
| 39 | 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] | 478 |
| 38 | Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [1] | 473 |