Others Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다.
2020.06.08 18:29
안녕하십니까 교수님
공정 실습 중 Dechucking 이슈에 대해 궁금증이 있어 이렇게 글을 남깁니다.
제가 확인한 이슈는 dechucking 이후 핀업 진행 시 웨이퍼가 슬라이딩 하는 문제였는데, 해당 이슈에 대해 config값을 (0->5)변경하여 He flow가 되도록 조치했다는 것을 알았습니다.
chucking 과정중 He의 역할이 온도를 낮추는 역할 정도로 알고 있는데, He 가스가 chucking에서 어떤 역할들을 하는지 궁금합니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [275] | 76817 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20246 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57188 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68739 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92576 |
575 | ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다. | 16948 |
574 | 플라즈마 처리 | 16934 |
573 | ICP 식각에 대하여... | 16923 |
572 | Virtual Matchng | 16855 |
571 | sputter | 16849 |
570 | nodule의 형성원인 | 16763 |
569 | 좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다. [2] | 16664 |
568 | 몇가지 질문있습니다 | 16578 |
567 | CCP 의 electrode 재질 혼동 | 16490 |
566 | 플라즈마의 어원 | 16339 |
565 | 궁금해서요 | 16316 |
564 | 궁금합니다 [1] | 16177 |
563 | 공정검사를 위한 CCD 카메라 사용 | 16070 |
562 | 플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [1] | 16040 |
561 | 핵융합과 핵폐기물에 대한 질문 | 16023 |
560 | 역 수소폭탄에 대하여... | 16009 |
559 | k star | 15957 |
558 | ICP TORCH의 냉각방법 | 15920 |
557 | corona | 15890 |
556 | Sputtering 중 VDC가 갑자기 변화하는 이유는 무엇인가요? | 15886 |
성균관 대학교 김태성교수님 연구실로 문의하시면 좋은 답변을 구하실 수 있을 것 같습니다. chucking/dechucking에서 생성될 수 있는 파티클 제어까지 고려해야 할 것 같습니다.