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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 76894
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595 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [초고밀도 플라즈마] [1] file 486
594 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다. [플라즈마 특성변화와 SH impedance 변화] [1] 2841
593 low pressure영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니다. [파센 커브와 글로우 방전] [1] 1836
592 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [회로인자 및 구동기구, 플라즈마 특성] [1] 6697
591 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [Maxwallian EEDF] [2] 3931
590 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [DC glow discharge] [1] 1224
589 플라즈마 에칭과 표면처리의 차이점 질문드립니다. [Cleaning, sputter etching, RIE] [1] 2485
588 RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [충돌 반응 rate constant] [4] 6026
587 플라즈마 챔버 [화학반응 및 내열조건] [2] 1787
586 Decoupled Plasma 관련 질문입니다.[플라즈마 내 입자의 거동] [1] 1483
585 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [플라즈마 주파수와 Vpp, sheath] [1] 4594
584 플라즈마 용어 질문드립니다. [Self bias] [1] 1161
583 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [Faraday shield] [1] 2082
582 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다. [He 혼합비와 플라즈마 밀도] [1] 2028
581 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [세정 공정 개발] [1] 1354
580 RF 반사파와 이물과의 관계 [Physical/chemical cleaning] [1] 1543
579 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [플라즈마 확산] [1] 638
578 압력과 플라즈마 크기의 관계가 궁금합니다. [Mean free path] [1] 29829
577 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [플라즈마 내 전자 축적] [1] 1991
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