Ashing O2 Asher o-ring 문의드립니다. [Plasma heat와 dissociation]

2020.07.30 19:43

미누85 조회 수:1223

안녕하세요

재직중인 곳에서 O2 Asher 를 사용하고 있습니다.

약 3개월 마다 장비 유지보수 및 cleaning을 진행하고 있는데

그때마다 항상 O-ring이 갈라져 있고, 주변으로 흰색 가루(?) 같은 것들이 있습니다.

Ar를 사용하는 PVD 장비의 O-ring은 1년을 써도 멀쩡한데 O2 asher만 그러네요....

O-ring 재질은 바이톤 재질을 사용하고 있습니다.

O2 Asher에 적합한 O-ring이 무엇인지 알고 싶습니다.

그리고 발생된 흰가루나 갈라진 O-ring이 out gasing, particle을 유발하여 제품에 영향을 미칠까요?

작업 용도는 세라믹 기판에 코팅된 PR을 노광 및 현상 후 표면 Cleaning 용도로 쓰고 있습니다.

 

무더위 건강 유의하시고 좋은 하루 되시길 바랍니다.!!

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102964
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24689
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61446
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73484
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105857
592 low pressure영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니다. [파센 커브와 글로우 방전] [1] 1729
591 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [회로인자 및 구동기구, 플라즈마 특성] [1] 6528
590 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [Maxwallian EEDF] [2] 3750
589 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [DC glow discharge] [1] 1168
588 플라즈마 에칭과 표면처리의 차이점 질문드립니다. [Cleaning, sputter etching, RIE] [1] 2400
587 RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [충돌 반응 rate constant] [4] 5291
586 플라즈마 챔버 [화학반응 및 내열조건] [2] 1688
585 Decoupled Plasma 관련 질문입니다.[플라즈마 내 입자의 거동] [1] 1406
584 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [플라즈마 주파수와 Vpp, sheath] [1] 4390
583 플라즈마 용어 질문드립니다. [Self bias] [1] 1086
582 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [Faraday shield] [1] 1984
581 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다. [He 혼합비와 플라즈마 밀도] [1] 1902
580 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [세정 공정 개발] [1] 1261
579 RF 반사파와 이물과의 관계 [Physical/chemical cleaning] [1] 1456
578 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [플라즈마 확산] [1] 589
577 압력과 플라즈마 크기의 관계가 궁금합니다. [Mean free path] [1] 29561
576 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [플라즈마 내 전자 축적] [1] 1876
575 Load position관련 질문 드립니다. [Impedance matching] [1] 2925
574 Floride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [Sputter setup 및 구동 원리] [1] 750
쓰기
태그

Boards

XE Login