번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] 5808
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17215
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53065
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64485
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85100
458 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 1272
457 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1277
456 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 1277
455 RF matcher와 particle 관계 [2] 1298
454 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] 1300
453 wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] 1304
452 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] 1306
451 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1324
450 [Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련] [3] 1335
449 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1339
448 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1350
447 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] 1362
446 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 1365
445 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 1367
444 플라즈마 에칭 과 표면처리 의 차이점 질문드립니다. [1] 1369
443 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 1375
442 RF generator 관련 문의드립니다 [3] 1376
441 RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] 1382
440 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1394
439 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1427

Boards


XE Login