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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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Collisional mean free path 문의… [MFP와 평균값 개념]
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3-body recombination 관련 문의드립니다. [Energy 보존 및 momentum 보존]
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진학으로 고민이 있습니다. [복수전공]
[2] | 1198 |
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585 |
고전압 방전 전기장 내 측정 [전극과 탐침과의 간격]
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584 |
RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [Ground와 Clamp]
[1] | 1203 |
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RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [Plasma sheath, Stochastic heating]
[1] | 1207 |
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langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [Langmuir probe와 ground]
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581 |
Shield 및 housing은 ground와 floating중 어떤게 더 좋은지요 [장비 ground]
[2] | 1208 |
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580 |
자기 거울에 관하여
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RF Frequency 가변과 Forward Power의 상관관계 [임피던스 매칭]
[2] | 1211 |
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578 |
안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다.
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Decoupled Plasma 관련 질문입니다.[플라즈마 내 입자의 거동]
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CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [Self bias]
[1] | 1235 |
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ICP VIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [Plasma breakdown 및 생성]
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CCP Plasma 해석 관련 문의 [Diffusion]
[1] | 1241 |
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573 |
Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 식각기술, Plasma Etching]
[3] | 1245 |
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572 |
HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [Self bias와 dummy 공정]
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571 |
anode sheath 질문드립니다. [Sheath 형성 메커니즘]
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570 |
Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [Remote plasma 이해]
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569 |
sticking coefficient 관련 질문입니다. [HAR, LF bias]
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