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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68529
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91230
533 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 1180
532 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 1190
531 Ashing 공정에 필요한 O2 plasma에 대해 궁금한 점이 있습니다. [1] 1193
530 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 1207
529 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 1213
528 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] 1215
527 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 1222
526 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 1231
525 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 1251
524 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1260
523 플라즈마 기초입니다 [1] 1269
522 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] 1272
521 I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [1] 1279
520 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] 1284
519 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] 1285
518 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 1291
517 Plasma Cleaning 관련 문의 [1] 1292
516 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 1307
515 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] 1310
514 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] 1313

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