플라즈마를 이용해서 가스 분해를 해봤는데요

분광진단을 통해서 플라즈마 토치의 위치별 분해된 종들의 rotational temperature를 측정해 봤습니다.

근데 어떤 한 분해종이 플라즈마 토치중심부에서  위로 올라갈수록 온도가 올라가는 경향이 타나났습니다.

이런 현상이 나타나는 원인이 무엇인가요? 몇번을 측정해도 같은 결과가 나오더군요

혹시 rotational temperature가 밀도와 관련이 있나요? 그 분해종은 저온영역에서 밀도가 급속도로 높아지는 경향이 보이거든요

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [182] 75027
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 18870
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56343
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 66868
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 88354
479 charge effect에 대해 [2] 1308
478 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1308
477 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 1310
476 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1312
475 Ar plasma power/time [1] 1316
474 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1320
473 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1325
472 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1329
471 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1335
470 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] 1343
469 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 1352
468 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1354
467 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 1362
466 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1364
» 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1383
464 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] 1390
463 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1399
462 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1411
461 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1425
460 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 1434

Boards


XE Login