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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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standing wave effect에 대한 질문이 있습니다.
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507 |
플라즈마 기초입니다
[1] | 1217 |
506 |
ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의
| 1222 |
505 |
Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다.
[3] | 1233 |
504 |
PECVD와 RIE의 경계에 대해
[1] | 1249 |
503 |
Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다.
[1] | 1252 |
502 |
연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생
[1] | 1253 |
501 |
DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다.
[3] | 1267 |
500 |
PECVD 증착에서 etching 관계
[1] | 1271 |
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플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다.
[1] | 1272 |
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[질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문
[2] | 1273 |
497 |
glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다.
[2] | 1277 |
496 |
Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성
[1] | 1278 |
495 |
IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다.
[2] | 1278 |
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Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다.
[1] | 1305 |
493 |
Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법
[1] | 1307 |
492 |
O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다.
[1] | 1321 |
491 |
MATCHER 발열 문제
[3] | 1335 |
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dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!!
[1] | 1341 |
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플라즈마 내에서의 현상
[1] | 1342 |
공정 플라즈마와 관련된 강의는 학회 및 교육기관에서 외부인을 대상으로 진행하는 강의를 수강하는 편이 좋을 것 같습니다. 해당 강의0 들은 현업의 사례에서 다루는 플라즈마를 소개할 것입니다. 예전에는 한국기술교육대학에서 정기적인 강의가 있었고 최근에 학회에서 진행되는 강의는 진공학회 (www.kvs.or.kr) 춘계 학술대회 기간 중 (2017년 2월 15일(수) ~ 2월 17일(금)/ 강원도 횡성) 목요일에 "플라즈마 진단" 주제의 기술 심포지움이 있습니다. 참고하세요. 아울러 공정 플라즈마 관련 대학원생들에게 제공된 강의인 PSES-net 플라즈마 교육 프로그램이 올해 진행되면 저희 홈페이지에서 공지를 할 것이 참고하시기 바랍니다.
또한 참고로 추천드릴 교재는 정진욱교수님 역저인 "공정플라즈마 기초와 응용"이 있고, 심화 과정으로는 Principles of plasma discharges and material processings (Lieberman and Lichtenberg) 교재를 권합니다.