안녕하세요 Etch 공정 담당하는 회사원입니다~

장비 Idle 상태에서 Dummy 이용하는데 과학적으로 왜 쓰는지 정확하게 이유를 알고싶습니다..

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584 Shield 및 housing은 ground와 floating중 어떤게 더 좋은지요 [장비 ground] [2] 1366
583 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [Ground와 Clamp] [1] 1368
582 CCP Plasma 해석 관련 문의 [Diffusion] [1] file 1385
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574 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [Self bias] [1] 1413

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