안녕하세요. 한국기계연구원과 전기집진기 관련하여 테스트를 진행중인데,

여기에 플라즈마나 랭뮤어프로브와 유사한 기술이 관련있는 것으로 알고있습니다.

400mm*400mm 사이즈의 2개의 판재가 200mm 간격으로 배열되어있고, 그 중간 지점에 방전침이 있습니다.

방전판과 방전침 사이에 20kV정도 고전압을 인가하면 파란 방전이 약하게 형성됩니다.

X,Y,Z축으로 움직일 수 있는 모션 스테이지 끝부분에 알루미나로 외부를 절연시킨 탐침침을 고정했습니다.

프로브를 밀어넣어 멀티미터로 측정하여 아래 그림와 같은 결과가 나왔습니다.

2018-09-18_093510.png

저는 단순히 멀티미터에 방전판을 공통라인으로 연결하고 프로브에서 측정하였습니다만.

바이어스전압을 인가하여 측정을 해야한다는데, 바이어스전압이 어떤 의미인지? 어떻게 연결하여야하는지 도움을 받고 싶습니다.

현재는 프로브에 반대극성의 고전압을 연결하여 측정하는 방법을 생각중에 있습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [333] 103269
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24708
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61513
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73516
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105934
594 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다. [VI Phase] [1] 1317
» 고전압 방전 전기장 내 측정 [전극과 탐침과의 간격] [1] file 1318
592 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [수소, Ar 단원자 진단] [1] 1329
591 Collisional mean free path 문의… [MFP와 평균값 개념] [1] 1333
590 plasma 공정 중 색변화 [플라즈마 진단과 분광학] [1] 1334
589 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [CCP 방전 원리] [1] file 1337
588 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 1341
587 진학으로 고민이 있습니다. [복수전공] [2] 1342
586 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 식각기술, Plasma Etching] [3] 1363
585 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [Langmuir probe와 ground] [1] file 1365
584 Shield 및 housing은 ground와 floating중 어떤게 더 좋은지요 [장비 ground] [2] 1371
583 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [Ground와 Clamp] [1] 1372
582 CCP Plasma 해석 관련 문의 [Diffusion] [1] file 1395
581 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [Ambipolar diffusion] [1] 1405
580 RF 주파수에 따른 차이점 [이온 및 전자 주파수 선택] [1] 1406
579 Decoupled Plasma 관련 질문입니다.[플라즈마 내 입자의 거동] [1] 1407
578 Plasma Arching [Plasma property] [1] 1407
577 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [Self bias와 dummy 공정] [1] 1408
576 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [Global model과 Balance equation] [1] 1408
575 Group Delay 문의드립니다. [마이크로파] [1] 1410

Boards


XE Login