안녕하세요, 한국기술교육대학교에서 석사과정중인 최인규입니다.

 

현재, Plasma 상태에서의 분자와 기판의 반응을 시뮬레이션을 통해서 모사해 보려고 하고 있습니다.

 

다만 현재 N 플라즈마 상태에서, N이 어떠한 형태로 존재하는지 알지 못하고 있습니다. 

 

H 플라즈마의 경우에는 I. Mendezet al , J. Phys. Chem . Rev . A 110 2006 ) 6060 6 논문을 참고하여, 

 

H 원자 형태로 가장 많이 존재하며 그 이후로 H3+, H+, H2+ 순으로 구성되어있다고 하는데,

 

N 플라즈마의 경우 대부분이 N+ / N2+ 의 비율로만 보여주고 있어 어려움이 있습니다.

 

혹 N이 이온이 아닌 원자 형태로 존재하는지, 존재를 한다면 N+, N2+ 대비 얼마나 존재 할지 궁금하여 질문드립니다.

 

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102837
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24683
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61408
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73474
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105822
593 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [수소, Ar 단원자 진단] [1] 1314
592 고전압 방전 전기장 내 측정 [전극과 탐침과의 간격] [1] file 1316
591 plasma 공정 중 색변화 [플라즈마 진단과 분광학] [1] 1326
590 Collisional mean free path 문의… [MFP와 평균값 개념] [1] 1331
589 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [CCP 방전 원리] [1] file 1332
588 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 1339
587 진학으로 고민이 있습니다. [복수전공] [2] 1341
586 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 식각기술, Plasma Etching] [3] 1360
585 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [Langmuir probe와 ground] [1] file 1363
584 Shield 및 housing은 ground와 floating중 어떤게 더 좋은지요 [장비 ground] [2] 1368
583 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [Ground와 Clamp] [1] 1369
582 CCP Plasma 해석 관련 문의 [Diffusion] [1] file 1387
581 RF 주파수에 따른 차이점 [이온 및 전자 주파수 선택] [1] 1395
580 Plasma Arching [Plasma property] [1] 1402
579 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [Ambipolar diffusion] [1] 1405
578 Decoupled Plasma 관련 질문입니다.[플라즈마 내 입자의 거동] [1] 1406
577 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [Self bias와 dummy 공정] [1] 1407
576 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [Global model과 Balance equation] [1] 1407
575 Group Delay 문의드립니다. [마이크로파] [1] 1410
574 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [Self bias] [1] 1418

Boards


XE Login