Others micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다.
2016.02.29 16:49
안녕하세요. 일반 회시에 다니는 회사원입니다.
다름이 아니고 마이크로웨이브파를 이용 플라즈마 발생장치에 관심이 있어 질문 드립니다.
만약 마그네트론 + 리액터 + 웨이브가이드 3개로 구성된 장치가 있는데 만약 여기에 사용되는 전력이 플라즈마를 발생시키기 위해서 마그네트론
과 리액터내 플라즈마를 발생시키기 위한 전력만 소모되는지요? 마그네트론은 1kw짜리 이고 리액터에 사용되는 플라즈마 발생장치는 저온 플라즈마(500~600도) 입니다.
개발업체에서는 플라즈마를 발생시키기 위해서 사용전력이 많이 들어간다고 하는데 얼마정도 인지 확인이 안되고 있습니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] | 76888 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20282 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57204 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68758 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92712 |
559 | Sputtering 중 VDC가 갑자기 변화하는 이유는 무엇인가요? | 15889 |
558 | Ar fraction에 따른 Plasma 특성 질문입니다. [1] | 15812 |
557 | Plasma potential이.. 음수가 될수 있나요?.. | 15673 |
556 | PMMA(폴리메틸메타크릴레이트)의 표면개질에 관해 [1] | 15649 |
555 | 플라즈마와 비행기에 미쳤거든여....^ _ ^ ; | 15627 |
554 | 핵융합반응/플라즈마 | 15531 |
553 | In-flight plasma process | 15506 |
552 | 우주 플라즈마 | 15356 |
551 | 박막 형성 | 15301 |
550 | 산업용 플라즈마의 특성 | 15163 |
549 | 산업용 플라즈마 내에서 particle의 형성 | 15054 |
548 | ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] | 14851 |
547 | 우주 플라즈마 | 14786 |
546 | 플라즈마 절단기에서 발생 플라즈마 | 14737 |
545 | laser induced plasma의 측정에 관하여 | 14733 |
544 | 우주에서의 플라즈마의 성분비 | 14589 |
543 | remote plasma 데미지 질문 [1] | 14487 |
542 | 냉각수에 의한 Power Leak | 14447 |
541 | 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [1] | 14145 |
540 | 플라즈마의 상태 | 14083 |