Others 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요.
2017.09.07 15:11
현재, 스퍼터링 시스템에 대해 공부를 하고 있습니다.
자연스레 플라즈마에 대해 알아야 되더라고요.
근데 공부 중에 플라즈마에 관련된 여러 변수 또는 파라미터들을 알게 되었습니다.
그 중 제가 질문하고자 하는 변수는 RF 파워인데요
RF 파워가 커지면 이온 에너지도 커진다고 알고 있습니다.
이게 왜 그런지 알고 싶습니다!
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [275] | 76843 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20252 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57192 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68744 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92602 |
556 | Sputter | 15885 |
555 | Ar fraction에 따른 Plasma 특성 질문입니다. [1] | 15806 |
554 | Plasma potential이.. 음수가 될수 있나요?.. | 15664 |
553 | PMMA(폴리메틸메타크릴레이트)의 표면개질에 관해 [1] | 15646 |
552 | 플라즈마와 비행기에 미쳤거든여....^ _ ^ ; | 15623 |
551 | 핵융합반응/플라즈마 | 15523 |
550 | In-flight plasma process | 15505 |
549 | 우주 플라즈마 | 15351 |
548 | 박막 형성 | 15299 |
547 | 산업용 플라즈마의 특성 | 15161 |
546 | 산업용 플라즈마 내에서 particle의 형성 | 15053 |
545 | ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] | 14813 |
544 | 우주 플라즈마 | 14786 |
543 | 플라즈마 절단기에서 발생 플라즈마 | 14735 |
542 | laser induced plasma의 측정에 관하여 | 14733 |
541 | 우주에서의 플라즈마의 성분비 | 14588 |
540 | remote plasma 데미지 질문 [1] | 14476 |
539 | 냉각수에 의한 Power Leak | 14447 |
538 | 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [1] | 14143 |
537 | 플라즈마의 상태 | 14081 |
PF Power 는 인가 전압 x 인가 전류 x 위상차의 함수인 power factor를 곱한 값입니다. 즉 power의 크기가 커지는 경우는 인가된 전압이 커지나 전류가 커지거나 서로의 위상이 잘 정돈된 경우세 power가 커집니다. 따라서 전압이 커지는 경우, 전력 인가 대상 앞의 이온의 가속 에너지를 키울 수 있게 되며, 전류를 키우는 경우 인가 대상으로 흐르는 플라즈마 전류를 키울 수가 있겠고, 위상을 잘 맞추는 경우 전력이 플라즈마 가속과 생성 반응으로 잘 흡수되도록 할 수가 있게 됩니다. 전력의 인자를 나누고 그 역할을 생각해 보면 공부에 도움이 될 것입니다.