Others 플라즈마의 상태

2004.06.19 16:56

관리자 조회 수:13606 추천:270

플라즈마는 전기적으로 준 준성상태를 유지하고 있습니다. 이는 전자들과 이온들의 양이 거의 같은 수로 존재함을 의미합니다. 하지만 질문에서 처럽 negative ion 즉 중성 입자에 전자의 attechement process에 의해서 음 전하를 갖느 이온들이 있는 경우 플라즈마는 양이온, 음이온, 전자들로 구성되게 됩니다. (음이온의 양은 중성입자에 전자의 흡착으로 만들어 짐으로 음이온 발생량만큼 전자의 수는 줄게 됩니다.) 이때양이온과 음이온은 질량 크기는 같으나 하전극성이 반대가 되며 음이온과 전자들은 하전 극성은 같으나 그 질량의 크기는 다르게 됩니다. 이 경우도 플라즈마 내에느 준 중성 상태가 그대로 유지됨으로 양이온 밀도= 음이온 밀도+ 전자 밀도의 조건이 성립하게 되며 책에서는 이경우를 언급하고 있는 것 입니다. 음이온이 발생하는 경우는 주기률 표의 7족 물질들의 전자 친화력이 켜서 쉽게 전자들과 결합을 잘하게 되어 음이온의 발생이 큽니다. 이들 7족 물질(F, cl2 etc)들은 대개 식각개스로 사용되어서 식각개스로 사용되어서 식각 플라즈마에서는 이 같은 electro-negative 한 plasma의 형성이 빈번하게 일어나게 돕니다. 또한 에칭 등에사용되는 산소 플라즈마에서도 음이온의 발생은 압력 조건에 따라 매우 민감하게 형성되며 이러한 결과는 저희 실혐실 연구에서도 잘 나타나고 있습니다. 설명이 도움이 되길 바람니다.

플라즈마를 공부하다 이해가 되지 않는 부분이 있어서 이렇게 게시판에 올립니다.
책에 있는 내용을 그대로 적겠습니다.

the concertration of negative ions usually is substantially less than the concentration of positive ions because of the charge neutrality requirement for the glow discharge(i.e. density of electrons negative ion = density of positive ions)    

Boards


XE Login