안녕하세여

ETCH 공정 관련된 일을 하고 있습니다

임피던스 매칭에 대하여 공부를 하고 있는데

제너레이터의 임피던스와 챔버의 임피던스를 매칭 시켜 REFLECT POWER 가 발생하지 않도록 하는데

임피던스에는 실수부와 저항부가 있다고 알고 있습니다.

통상적으로 PLASMA 에서 사용하는 저항은 50 옴인데 제너레이터의 저항이 50옴 이라는 것인가요??

제너레이터의 저항도 임피던스라면 허수부가 존재할 것이라고 생각해서 50옴 + 허수부 저항도 있진 않을지 궁금합니다. 아니면 제너레이터의 저항은 coxial cable 의 저항만을 의미하는 것일까요?? 

또, 챔버에서 저항은 매쳐와 하나가 되어 변화될텐데 매쳐가 실수부 또한 변경 가능한지 궁금합니다.

챔버 내의 PARTS가 식각이 된다면 챔버의 R 값은 변화할텐데 매쳐의 TUNE, CAP 은 허수부의 REACTANCE 값만

변화시킨다고 알고 있습니다. 매쳐가 실수부 R 의 값을 변화시키지 못한다면 아무리 매쳐가 일을 한다하더라도 

챔버 내 PARTS들의 식각에 의해 임피던스가 틀어지고, REFLECT 가 뜨진 않을지 궁금합니다.

스미스차트상 capacitance 혹은 inducrance 를 변경하면 실수부도 변화가 되는 거 같아 보이는데

실수부도 같이 변화가 되는 걸까요??

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102959
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24689
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61444
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73484
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105857
593 ICP TORCH의 냉각방법 [냉각수와 와류] 16025
592 Plasma potential이.. 음수가 될수 있나요?.. 16012
591 Sputtering 중 VDC가 갑자기 변화하는 이유는 무엇인가요? 15995
590 PMMA(폴리메틸메타크릴레이트)의 표면개질에 관해 [1] 15870
589 ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] 15788
588 플라즈마와 비행기에 미쳤거든여…^ _ ^ ; [플라즈마 우주선 추진 엔진] 15771
587 핵융합반응/플라즈마 15672
586 In-flight plasma process [Remote Plasma와 Plasma Torch] 15621
585 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 15513
584 우주 플라즈마 [Plasma의 온도와 밀도] 15474
583 박막 형성 [ICP와 MOCVD] 15387
582 산업용 플라즈마의 특성 [Thermal Plasma와 Cold Plasma] 15301
581 산업용 플라즈마 내에서 particle의 형성 15185
580 remote plasma 데미지 질문 [DC glow discharge와 Breakdown] [1] 14945
579 플라즈마 절단기에서 발생 플라즈마 14911
578 우주 플라즈마 [Orora와 density] 14847
577 laser induced plasma의 측정에 관하여 [Ablation plasma와 resolution] 14801
576 우주에서의 플라즈마의 성분비 [Orora와 density] 14663
575 냉각수에 의한 Power Leak [Density와 Power] 14526
574 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [반도체 공동 연구소] [1] 14382

Boards


XE Login