번호 제목 조회 수
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 48587
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 49804
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 55067
291 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 1888
290 수중 방전 관련 질문입니다. [1] 6789
289 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 1710
288 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1510
287 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 1882
286 자료 요청드립니다. [1] 4717
285 ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다. file 2522
284 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 1936
283 저온 플라즈마에 관해서 [1] 5244
282 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1145
281 방전에서의 재질 질문입니다. [1] 3092
280 RF calibration에 대해 질문드립니다. 4782
279 N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] file 6304
278 the lines of magnetic  induction are frozen into the perfectly conducting material에 대한 질문 [1] file 3901
277 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 6236
276 Microwave 장비 관련 질문 [1] 8084
275 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] 6944
274 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [1] 7897
273 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 5992
272 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 5901

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