Skip to content
플홈
오시는 길
누구
질문방
검색
전체
Plasma in general
DC glow discharge
Collision
Sheath
Ion/Electron Temperature
Others
Plasma Source
ATM Plasma
CCP
ICP
Remote Plasma
Water Discharge Plasma
Others
Chamber component
Matcher
ESC
Pulse operation
Shower head
Chamber Impedance
Others
Monitoring Method
OES
Langmuir Probe
VI(Impedance) Sensor
B dot
Others
Process
Etch
Deposition
Sputtering
Ashing
Others
Others
저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다.
2015.10.12 15:35
최영호
조회 수:9844
안녕하십니까? 지방 국립대학교 석사생입니다.
저온 플라즈마 장비에 관련되서 질문 드리고자 합니다.
고온의 물체(공구날)를 냉각시키는 목적으로 저온 플라즈마 장비를 찾는 중입니다.
이러한 목적에 부합하는 장비에 대한 정보를 요청드립니다.
감사합니다.
댓글
0
목록
번호
제목
조회 수
공지
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[271]
76779
공지
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
20224
공지
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
57178
공지
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
68721
공지
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
92398
531
플라즈마 챔버
[2]
1247
530
임피던스 매칭 및 플라즈마 진단
[1]
1273
529
ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다.
[2]
1274
528
플라즈마 기초입니다
[1]
1284
527
플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요.
[1]
1294
526
[CVD] 막 증착 관련 질문입니다.
[4]
1300
525
Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance
[1]
1305
524
텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다.
[1]
1317
523
플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다.
[1]
1320
522
I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다.
[1]
1320
521
CCP 챔버 접지 질문드립니다.
[1]
1328
520
DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다.
[3]
1330
519
ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!!
[1]
1333
518
CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다.
[1]
1336
517
Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다.
[3]
1350
516
Plasma Cleaning 관련 문의
[1]
1351
515
low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜.
[1]
1355
514
Plasma arcing 관련하여 문의드립니다.
[1]
1358
513
OES 분석 관련해서 질문드립니다.
[1]
1376
512
[질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문
[2]
1377
Boards
Close Login Layer
XE Login
아이디
비밀번호
로그인 유지
회원가입
ID/PW 찾기
인증메일 재발송
Close Login Layer