Others VPP,VDC 어떤 FACTOR인지 알고 싶습니다. [Vpp, Vdc와 플라즈마 발생 원리]
2012.09.07 03:25
안녕하세요. 반도체에 종사하는 엔지니어입니다.
플라즈마에 대한 기초지식이 없어 설비 Trace 하는데 어려움이 있어 도움 요청합니다.
질문
1.VPP가 어떤건지?
2.VDC가 어떤건지?
3.VPP 정상 Trend에서 High Hunting 발생한 경우 왜 그런지?
4.VPP 정상 Trend에서 Low Hunting 발생한 경우 왜 그런지?
5.VDC 정상 Trend에서 High Hunting 발생한 경우 왜 그런지?
6.VDC 정상 Trend에서 Low Hunting 발생한 경우 왜 그런지?
7.플라즈마는 압력,TEMP에 대해서 어떻게 변하는지?
위 7개 항목에 대해서 알고 싶습니다.
참고. 반도체 Batch 장비 , ALD막 생성에 쓰이는 장비입니다.
정말 감사합니다.
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [316] | 82257 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 21897 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 58683 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 70308 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 96081 |
| 20 | 플라즈마 쉬스 [Sheath와 self bias] | 24087 |
| 19 | 플라즈마에 관해 질문 있습니다!! | 24168 |
| 18 | self Bias voltage [Self bias와 mobility] | 24252 |
| 17 | plasma와 arc의 차이는? [Arc의 temperature] | 25196 |
| 16 | 충돌단면적에 관하여 [2] | 26381 |
| 15 | self bias (rf 전압 강하) | 26915 |
| 14 |
이온과 라디칼의 농도 [해리도와 전자 에너지 분포]
 | 27201 |
| 13 | 플라즈마 온도 [Density와 Temperature] | 27940 |
| 12 | sheath와 debye sheilding에 관하여 [전자와 이온의 흐름] | 28116 |
| 11 | 반도체 관련 질문입니다. | 28622 |
| 10 | 플라즈마와 자기장의 관계 | 28676 |
| 9 | 압력과 플라즈마 크기의 관계가 궁금합니다. [Mean free path] [1] | 29064 |
| 8 | 물질내에서 전하의 이동시간 | 29431 |
| 7 | 플라즈마의 정의 | 29596 |
| 6 | 플라즈마 밀도 [Langmuir 탐침과 플라즈마의 밀도] | 30281 |
| 5 | Self Bias [Self bias와 플라즈마 특성 인자] | 36456 |
| 4 | RF frequency와 RF power 구분 | 39215 |
| » | VPP,VDC 어떤 FACTOR인지 알고 싶습니다. [Vpp, Vdc와 플라즈마 발생 원리] [1] | 55355 |
| 2 | DC 글로우 방전 원의 원리 좀 갈켜주세여.. | 134522 |
| 1 | SCCM 단위에 대하여 궁금합니다. [Flow rate] | 146536 |