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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73137
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105300
21 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [장비 분해 리빌트 및 테스트] [1] 552
20 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [플라즈마 확산과 밀도 분포] [1] 545
19 RF플라즈마에서 quasineutral에 대해 궁금한게 있어 질문글 올립니다.[quasineutral] [1] file 537
18 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [Rise rate] [1] 510
17 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 465
16 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [대기압 환경 플라즈마와 라디컬 분포] [1] 454
15 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [Sheath energy] [1] 435
14 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 422
13 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [초고밀도 플라즈마] [1] file 418
12 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [대기압 플라즈마, highly collisional plasma] [1] 404
11 플라즈마 사이즈 측정 방법 [플라즈마 분포 측정 및 산포 평가] [1] 387
10 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [에너지 균형과 입자 균형식] [1] 385
9 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [RF Power] [1] 366
8 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [Bactericidal 이해] [2] 342
7 Lxcat dataset에 따른 Plasma discharge에 대한 질문입니다. [CX 데이터] [1] 334
6 Druyvesteyn Distribution 332
5 corona model에 대한 질문입니다. [준중성과 저압플라즈마] [1] 328
4 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [상압플라즈마 소스] [1] 320
3 DC Arc Plasma Torch 관련 문의 [1] 293
2 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 282
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