Remote Plasma remote plasma 데미지 질문
2020.04.18 19:32
안녕하세요
반도체 공부하고 있는 학생입니다
반도체 관련 논문을 읽다 모르는 것이 있어 질문드립니다
remote plasma 경우 소스와 타겟 물질의 거리가 멀어 direct plasma 보다 플라즈마 데미지가 낮다고 하는데,
제가 알기로는 거리가 멀면 mean free path가 길어지고 플라즈마가 가속되어 에너지가 더 큰 것으로 알고 있습니다
그럼 충돌에너지가 커서 데미지가 더 커지는거 아닌가요..?
자세한 답변 부탁드립니다 감사합니다.
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