안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [126] 5571
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16853
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51343
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64184
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84145
430 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 462
429 자기 거울에 관하여 1030
428 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 718
427 Descum 관련 문의 사항. [1] 2578
426 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 463
425 Plasma Generator 관련해서요. [1] 765
424 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1258
423 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] 362
422 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [1] 5681
421 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 973
420 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 427
419 고전압 방전 전기장 내 측정 [1] file 886
418 RF 변화에 영향이 있는건가요? 17424
417 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] 388
416 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 645
415 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 619
414 etching에 관한 질문입니다. [1] 1545
413 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] 2796
412 RF Vpp 관련하여 문의드립니다. [1] 4994
411 DRAM과 NAND에칭 공정의 차이 [1] 4932

Boards


XE Login