플라즈마 기본 사양 문의

2018.02.27 10:50

포포쿱 조회 수:615

안녕하세요

플라즈마 기기에 급 관심을 갖게된 대학생입니다.


기본적으로 몇가지 문의 드리고 싶은데 아시는 분들은 말씀 부탁드립니다.


1. 저온 플라즈마의 측정 단위?

빛은 에너지밀도, 파장대로 어떤 기기의 출력 스펙을 한정하듯 저온 플라즈마 스펙도 전압, 주파수, 파장, 에너지밀도 등으로

쓸 수 있는건가요?

그렇다면 어떤 측정 단위를 쓰나요? V ? W ? W/m2 ? nm ?


2. 고전압

3KV 이상의 고전압을 걸어야 플라즈마 형태로 기체를 이온화? 시킬 수 있는것으로 알고 있는데

혹시 이 고전압이 불량이 나거나 이상이 생겼을때 위험하진 않나요



3. 인체 안전성?

플라즈마를 인체에 쐬어 주었을때 나타나는 부작용? 등이 있을까요?

반응성이 크고 에너지가 큰 상태인 플라즈마가 어떤 작용을 할거같은데..



4. 플라즈마 측정 방법


플라즈마가 나오는지 측정하려면 분광기?등 어떤 장비를 사용해야 하나요?

측정해주는 기관이나 (공공기관) 실험실이 있으면 추천 부탁드립니다.

1번과 같은 질문인데  측정하면 뭘 어떻게 어떤 스펙을 측정하는지도 .....궁금합니다





감사합니다.











번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76728
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20191
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57167
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68700
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92278
529 질문있습니다 교수님 [1] 22117
528 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 1730
527 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 446
526 remote plasma 데미지 질문 [1] 14457
525 RF generator 관련 문의드립니다 [3] 1914
524 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 1286
523 안녕하세요. O2 plasma etching에 대해 궁금한 것이 있습니다. [1] 6576
522 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 1162
521 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] 1237
520 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 3924
519 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 2234
518 Plasma Dechuck Process가 궁금합니다. 17672
517 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 1056
516 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 3689
515 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 587
514 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 10352
513 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 800
512 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 758
511 에쳐장비HF/LF 그라운드 관련 [1] 19776
510 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 839

Boards


XE Login