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공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 15309
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 50564
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 62973
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 81994
408 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1498
407 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] 1505
406 플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [1] 1505
405 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 1520
404 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 1538
403 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 1538
402 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 1549
401 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1558
400 PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성.... [1] 1564
399 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1577
398 chamber impedance [1] 1631
397 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 1645
396 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 1676
395 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 1685
394 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1698
393 Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련. [1] 1734
392 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] 1740
391 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 1761
390 Si Wafer Broken [2] 1775
389 Load position 관련 질문 드립니다. [2] 1775

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