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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64532
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432 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1501
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423 플라즈마 관련 기초지식 [1] 1577
422 DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다. [1] 1593
421 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1596
420 RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [4] 1606
419 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1615

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