공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[330]
| 102230 |
공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 24580 |
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
| 61234 |
공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
| 73322 |
공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
| 105554 |
573 |
center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [CCP 균일도, CCP edge]
[1] | 1411 |
572 |
sticking coefficient 관련 질문입니다. [HAR, LF bias]
[1] | 1422 |
571 |
대학원 진학 질문 있습니다. [전공 설계]
[2] | 1426 |
570 |
Vacuum chamber(Etching)내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계 [Plasma bulk Temp와 wall Temp]
[2] | 1432 |
569 |
RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [Self bias]
[1] | 1434 |
568 |
DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [플라즈마 공간 분포 진단]
[1] | 1438 |
567 |
산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [DBD]
[1] | 1441 |
566 |
Edge ring의 역할 및 원리 질문 [플라즈마 밀도 및 전위 제어]
[1] | 1441 |
565 |
공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [Chamber impedance]
[2] | 1444 |
564 |
RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [Plasma sheath, Stochastic heating]
[1] | 1446 |
563 |
RF 반사파와 이물과의 관계 [Physical/chemical cleaning]
[1] | 1449 |
562 |
Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [Chucking/dechucking 파티클 제어]
[1] | 1454 |
561 |
anode sheath 질문드립니다. [Sheath 형성 메커니즘]
[1] | 1458 |
560 |
플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [PMI]
[2] | 1462 |
559 |
공정플라즈마 [플라즈마 입자 거동 및 유체 방정식]
[1] | 1463 |
558 |
챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [Chamber impedance와 공정 드리프트 진단 인자]
[1] | 1484 |
557 |
ICP VIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [Plasma breakdown 및 생성]
[1] | 1495 |
556 |
플라즈마 기초입니다 [Breakdown과 electrolysis]
[1] | 1504 |
555 |
ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [플라즈마 방전 및 이온 가속]
[1] | 1524 |
554 |
wafer bias [Self bias]
[1] | 1526 |