Others N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다.

2016.05.05 09:33

짱구 조회 수:11388

안녕하세요. 반도체 관련 엔지니어입니다.


N2, Ar Plasma 를 사용하여 미세 Pattern Pad 표면 세정을 하려고 합니다.


세정물 오염원은 C, Si 등을 포함한 성분인데요.


N2 와 Ar 중 어떤게 더 효과적일지 궁금합니다. ( 사용 원소에 따른 플라즈마 처리 세기의 차이가 있을거 같은데.. )


자료를 찾다보니 아래와 같이 기술된 것도 있던데 맞나요??

- 사용 기체로 산소 및 질소를 사용하였을 경우 아르곤을 사용한 플라즈마 처리 시 보다 에칭 효과 우수

- 산소 사용 시 질소 사용보다 표면 에칭 효과 우수

※ 표면 에칭: 아르곤 < 질소 < 산소


감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76692
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20152
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57159
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68681
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92218
527 플라즈마 분배에 관하여 정보를 얻고 싶습니다. 13201
526 플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [1] 13054
525 반응기의 면적에 대한 질문 12809
524 [기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc) + Vp (plasma potential) 관련 질문입니다. [1] 12752
523 ICP와 CCP의 차이 [3] 12472
522 플라즈마에 대해서 꼭알고 싶은거 있는데요.. 12352
521 플라즈마 살균 방식 [2] 11445
» N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [1] 11388
519 Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] 11285
518 DC bias (Self bias) [3] 11250
517 RGA에 대해서 10539
516 플라즈마 PIC 질문드립니다. [1] 10375
515 Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] 10350
514 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 10329
513 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [1] 10295
512 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] 9954
511 ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] 9846
510 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. 9842
509 수중 방전 관련 질문입니다. [1] 9661
508 대기압 플라즈마에 대해서 9632

Boards


XE Login